1 简介

真(zhen)空泵(beng)(beng)是一种旋转式变容真(zhen)空泵(beng)(beng)须有(you)(you)前(qian)级泵(beng)(beng)配合方(fang)可(ke)使(shi)用(yong)在较(jiao)宽的压力(li)范围内有(you)(you)较(jiao)大的抽速对(dui)被(bei)抽除气体中含有(you)(you)灰尘和水蒸汽不(bu)敏感(gan)广泛用(yong)于冶金(jin)、化工、食品、电子镀(du)膜(mo)等行(xing)业。[1]

2 特点

(1)在较宽的压力范围(wei)内(nei)有较大的抽(chou)速；

(2)转子(zi)具有良好的几何对称性，故振动小(xiao)，运转平(ping)稳(wen)。转子(zi)间及(ji)转子(zi)和壳体间均有间隙，不用(yong)润滑(hua)，摩擦(ca)损失小(xiao)，可(ke)(ke)大大降低(di)驱动功(gong)率，从而(er)可(ke)(ke)实现较高(gao)转速(su)；

(3)泵腔内无需用油密封和(he)润滑，可(ke)减少油蒸气对真空系(xi)统的污染；

(4)泵腔内无(wu)压缩(suo)，无(wu)排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；

(5)压缩比(bi)较低，对氢气(qi)抽气(qi)效果(guo)差；

(6)转(zhuan)子表面(mian)为形状较为复杂(za)的曲线(xian)柱面(mian)，加(jia)工(gong)和检查比较困难。

3 结构

（1） 泵总(zong)体结(jie)构(gou)型式

真空泵(beng)的(de)泵(beng)体的(de)布置结(jie)构决定了泵(beng)的(de)总体结(jie)构。

立式(shi)结构的进、排气口水(shui)平(ping)设(she)置，装配和连接(jie)管路都(dou)比较方便(bian)。但(dan)泵的重心较高，在高速(su)运转时稳定性(xing)差，故这(zhei)种(zhong)型式(shi)多用(yong)于小(xiao)泵。

卧式泵(beng)的进(jin)气(qi)(qi)(qi)口(kou)在(zai)上(shang)，排(pai)(pai)(pai)气(qi)(qi)(qi)口(kou)在(zai)下。有时(shi)(shi)为(wei)了真空系统管(guan)道安装连(lian)接(jie)方(fang)便，可将排(pai)(pai)(pai)气(qi)(qi)(qi)口(kou)从水平方(fang)向接(jie)出，即进(jin)、排(pai)(pai)(pai)气(qi)(qi)(qi)方(fang)向是相(xiang)互垂直(zhi)的。此(ci)时(shi)(shi)，排(pai)(pai)(pai)气(qi)(qi)(qi)口(kou)可以从左或右两个方(fang)向开口(kou)，除接(jie)排(pai)(pai)(pai)气(qi)(qi)(qi)管(guan)道一(yi)端外，另(ling)一(yi)端堵(du)死(si)或接(jie)旁通阀。这种泵(beng)结构重心低，高速运转时(shi)(shi)稳定性(xing)好。一(yi)般大(da)、中(zhong)型泵(beng)多采用此(ci)种结构。

泵(beng)的两个(ge)转(zhuan)子轴与水平面垂直安装。这种结构(gou)装配间隙容易控(kong)制，转(zhuan)子装配方便，泵(beng)占地面积小。但泵(beng)重心(xin)较(jiao)高且(qie)齿轮(lun)拆装不便，润滑机构(gou)也相对复杂(za)。

（2） 泵(beng)的传(chuan)动方式

真空泵(beng)(beng)的(de)两个转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)是(shi)通过(guo)一(yi)(yi)对高精度齿轮来实现其相对同步(bu)运转(zhuan)(zhuan)(zhuan)的(de)。主动(dong)(dong)轴通过(guo)联(lian)轴器与电机(ji)联(lian)接。在(zai)传(chuan)动(dong)(dong)结构布置上主要有(you)以下两种：其一(yi)(yi)是(shi)电动(dong)(dong)机(ji)与齿轮放在(zai)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)的(de)同一(yi)(yi)侧如图(tu)。从动(dong)(dong)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)由电动(dong)(dong)机(ji)端齿轮直接传(chuan)过(guo)去带动(dong)(dong)，这样主动(dong)(dong)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)轴的(de)扭(niu)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)变形(xing)小，则两个转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)之间的(de)间隙不会因主动(dong)(dong)轴的(de)扭(niu)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)变形(xing)大(da)而改变，故使转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)之间的(de)间隙在(zai)运转(zhuan)(zhuan)(zhuan)过(guo)程中均(jun)匀(yun)。这种传(chuan)动(dong)(dong)方式的(de)最(zui)大(da)缺点(dian)是(shi)：a.主动(dong)(dong)轴上有(you)三个轴承，增(zeng)加(jia)了泵(beng)(beng)的(de)加(jia)工和(he)装配难(nan)度，齿轮的(de)拆(chai)装及调(diao)整也不便；b.整体结构不匀(yun)称(cheng)，泵(beng)(beng)的(de)重心偏向电动(dong)(dong)机(ji)和(he)齿轮箱一(yi)(yi)侧。

    极(ji)(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)”是(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵的(de)(de)(de)一(yi)(yi)(yi)个重要(yao)参(can)数(shu)，是(shi)反应(ying)泵抽气(qi)能力的(de)(de)(de)特性值，是(shi)与(yu)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵相关的(de)(de)(de)一(yi)(yi)(yi)个数(shu)值，不(bu)同的(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵可(ke)以有不(bu)同的(de)(de)(de)“极(ji)(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)”度。而“理(li)(li)论真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)”是(shi)理(li)(li)论研(yan)究时的(de)(de)(de)一(yi)(yi)(yi)个概念，是(shi)排(pai)除各种(zhong)实(shi)际因素的(de)(de)(de)影响(xiang)而提炼出的(de)(de)(de)一(yi)(yi)(yi)种(zhong)最理(li)(li)想的(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)状态。真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)容器经充分抽气(qi)后(hou)，稳定(ding)在某一(yi)(yi)(yi)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)度，此(ci)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)度称为(wei)极(ji)(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)。通(tong)常(chang)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)容器须经12小(xiao)时炼气(qi)，再经12小(xiao)时抽真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)，最后(hou)一(yi)(yi)(yi)个小(xiao)时每隔10分钟测(ce)量一(yi)(yi)(yi)次，取其10次的(de)(de)(de)平(ping)均值为(wei)极(ji)(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)值。